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    发布日期:2016-2-25
    高精度专业级无掩膜直写光刻设备
    应用于大规模集成电路掩膜版制作、IC芯片、MEMS、LED、生物芯片、触摸屏等加工
    高精度工作平台,可实现8英寸的基底尺寸(可扩展)
    配备高精度套刻和背面对准功能
    高产能曝光
    可接受客制化订制
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